内衬是置于反应腔体内的核心零件，比反应腔更接近晶圆反应过程，是工艺零部件中对洁净度、耐腐蚀度要求最高的产品之一。由于不同内衬应用于不同制程的设备（公司部分内衬产品应用于 7 纳米制程工艺设备），价格区间波动较大，在 1-5 万元之间。内衬产品体积和耗用材料居中

刻蚀 腔体 刻蚀设备 内衬 腔体内衬 2025-10-30 23:14  2